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知青回城搞科研[八零] 第47節(jié)

    李筠聽(tīng)著夸贊的話,雙手絲毫沒(méi)有受到影響,紋絲不動(dòng)地繼續(xù)勾勒線條,嘴里解釋道:

    “之前就一直對(duì)電路設(shè)計(jì)感興趣,多學(xué)了一手?!?/br>
    “原來(lái)如此,怪不得有人說(shuō)曾經(jīng)在張教授那邊看過(guò)去,你之前應(yīng)該就是跟著張教授學(xué)習(xí)吧?”

    “張老師是我們大一專業(yè)課的老師,非常樂(lè)意教授知識(shí),我也就學(xué)了一點(diǎn)皮毛?!?/br>
    這個(gè)消息,秦浩和黎綿都像是第一次聽(tīng)到,臉上露出驚訝的表情,李筠一抬頭就看到這副表情。

    “怎么了?”

    “我聽(tīng)說(shuō)張教授不是連研究生都不帶了,還去帶本科生啊?!?/br>
    兩人是真的羨慕,本科畢業(yè)之后讀了研究生,由于歷史原因前幾年都待在鳥(niǎo)不拉屎的地方負(fù)責(zé)研究工作,這兩年局勢(shì)穩(wěn)定之后,才從里面出來(lái),剛進(jìn)入研究所沒(méi)兩年,就遇到李筠這樣的妖孽級(jí)人物,真的是不知道該說(shuō)什么好。

    都沒(méi)遇到過(guò)張教授這種級(jí)別的大牛授課,能在姜文澤教授手下做事,那也是正巧碰到了研究所缺人的好時(shí)候。

    李筠不知道兩人心中的千回百轉(zhuǎn),落下最后一筆之后,對(duì)著兩人喊道:

    “完成了!”

    說(shuō)著,就把完整的圖紙遞到兩人眼前。

    雖然秦浩剛剛還覺(jué)得他們繪制的圖紙制作出來(lái)的機(jī)器費(fèi)事,可當(dāng)看到圖樣的那一眼,還是被它精妙的設(shè)計(jì)所折服,露出癡迷的眼神。

    黎綿更是激動(dòng)到不能自已,小心翼翼地接過(guò)圖紙,生怕自己一個(gè)不小心用力就撕壞了。

    “小筠你這不止是用眼做尺子,這美術(shù)功底也不差,看起來(lái)都不像是硬邦邦的鐵疙瘩?!?/br>
    “圖紙繪制好之后,我們是要交給秦師兄之前所說(shuō)的朱宏治來(lái)制作嗎?”

    秦浩搖搖頭,解釋道:“如今的變化如此大,交給他已經(jīng)不能處理,我會(huì)拿著圖紙去問(wèn)閆師兄的。時(shí)間不早了,你們倆先去吃飯,我去找閆師兄說(shuō)事,順便一起吃飯?!?/br>
    黎綿摸摸自己饑餓到腸鳴的肚子,微微一笑,“那就麻煩你了?!?/br>
    黎綿和李筠就這樣安心地去吃飯,而秦浩則是帶著剛剛出爐的圖紙,找到組長(zhǎng)閆旭東。

    “咚咚咚!”

    “請(qǐng)進(jìn)!”

    秦浩推開(kāi)門,看著還在里面繼續(xù)忙碌的閆旭東,忍不住提醒一句:“閆組長(zhǎng),該到吃午飯的時(shí)間了?!?/br>
    聞言,閆旭東轉(zhuǎn)頭往窗口看去,發(fā)現(xiàn)烈日正懸在頭頂,的確是是大中午的時(shí)候。

    隨后,又立馬回頭,看向進(jìn)屋的秦浩,問(wèn)道:“你這是有什么事來(lái)找我?我記得你們?nèi)齻€(gè)不是一直在為新的激光器在忙嗎?”

    秦浩慢步走向前,從自己手里的圖紙鋪在閆旭東身前的桌上,介紹道:

    “這就是我們?nèi)齻€(gè)這些天集思廣益想出來(lái)的圖紙,當(dāng)然閆組長(zhǎng)也明白,最重要的還是李筠,她的腦子不知道是什么東西做的,居然可以把我們的想法完美在紙上復(fù)制下來(lái)。

    原本我們是想著時(shí)間緊任務(wù)重,就著現(xiàn)在成熟的激光器改動(dòng)一點(diǎn)內(nèi)部構(gòu)造,但是隨著討論的越來(lái)越深入,我們發(fā)現(xiàn)那樣的改造是完全不夠的,不足以支撐后面的實(shí)驗(yàn)。

    因此耗費(fèi)的時(shí)間有點(diǎn)長(zhǎng),現(xiàn)在才把圖紙交上來(lái)。同時(shí),這個(gè)激光器的制作恐怕需要專門的人員負(fù)責(zé),無(wú)法自己動(dòng)手改造?!?/br>
    閆旭東一邊聽(tīng)著秦浩的介紹,一邊仔細(xì)看著眼前精巧的圖紙。

    只需一眼,就能給明白秦浩話里的意思,雖然這張圖的構(gòu)造比起之前要復(fù)雜不少,可也正因?yàn)槭沁@樣,這臺(tái)激光器發(fā)射的電子束會(huì)更加穩(wěn)定,安裝的換氣裝置也會(huì)更加安全,形成的準(zhǔn)分子激光自然不會(huì)差到哪里去。

    他雙眼放光地看著眼前的圖紙,久久沒(méi)有回話。

    沉默許久之后,抬頭看了一眼對(duì)面的秦浩,夸贊道:“你們?nèi)齻€(gè)真的很厲害,耗費(fèi)一點(diǎn)時(shí)間不算什么,只要能夠做出讓人驚艷的作品就行,而且相較于其他人的任務(wù),你們的任務(wù)更重。

    把圖紙交上來(lái)之后,這邊你們暫時(shí)就沒(méi)有什么事情需要忙了,老師會(huì)盡快給你們安排新的任務(wù),這臺(tái)激光器也會(huì)盡快制作出來(lái)?!?/br>
    “這樣我們就放心了,那我就先離開(kāi)了?!?/br>
    “你先去吃飯,順便休息一下。”

    秦浩點(diǎn)點(diǎn)頭,轉(zhuǎn)身離開(kāi)。

    依舊端坐在椅子上的閆旭東,還在震驚地看著眼前的圖紙。

    雖然秦浩沒(méi)有說(shuō)明,但他很明顯能夠看出來(lái),雖然這臺(tái)激光器經(jīng)過(guò)了大改造,但是它與其他部分連接的尺寸是不變的。

    也就意味著當(dāng)它制作出來(lái)之后,能夠完美地與其他光刻機(jī)設(shè)備融為一體,屆時(shí)cao作將會(huì)更加簡(jiǎn)便和穩(wěn)定。

    能夠在完成大改造的同時(shí),也注意到這些細(xì)枝末節(jié),很不簡(jiǎn)單。

    這個(gè)小項(xiàng)目的順利完成,也算是他們與計(jì)算科技研究所合作的一個(gè)進(jìn)步,對(duì)方現(xiàn)在可是再不停地催促。

    他感覺(jué)最近老師的白頭發(fā)都多了不少,估計(jì)是煩的。

    因?yàn)楹献鞯脑?,閆旭東嘴里的休息也不過(guò)是一個(gè)下午,第二天三人就被分配了新的任務(wù)。

    李筠被分到研究半自動(dòng)接近式光刻機(jī)的趙本民教授,因?yàn)榻臐山淌诮佑|式這里人手充足,而新開(kāi)發(fā)的接近式和投影式還處于正在開(kāi)發(fā)的階段,需要的人手不少,像是其他兩人就被分到了投影式實(shí)驗(yàn)室。

    說(shuō)來(lái),她第一次來(lái)到實(shí)驗(yàn)室看到的就是接觸式和投影式的對(duì)抗現(xiàn)場(chǎng),就是不知道后面結(jié)果如何。

    人手是真的缺,她剛到實(shí)驗(yàn)室,就被趙本民教授的助手趙蔓分配到負(fù)責(zé)物鏡的組別。

    可以說(shuō),除了光源之外,光刻機(jī)的研究當(dāng)中,鏡頭就是其最核心的部分,包括物鏡和曝光臺(tái)。

    李筠被分到的是物鏡觀察,她需要一遍又一遍地觀察從激光器發(fā)射而來(lái)的激光,通過(guò)矯正器、能量探測(cè)器、光束形狀設(shè)置、遮光器到達(dá)掩膜臺(tái)后,透過(guò)物鏡在硅片上顯影蝕刻制作晶圓。

    物鏡可以調(diào)整光束的形狀,入瞳、透過(guò)平面、出瞳,將掩膜上的電路圖案調(diào)整縮小,聚焦成像在晶圓上。

    對(duì)于像差調(diào)節(jié)的要求特別高,不確定性很大,她自己都不敢說(shuō),什么時(shí)候才能調(diào)整出最合適的比例。

    唯一值得慶幸的一點(diǎn)就是,接近式光刻機(jī)在掩膜板與光刻膠基底層留有一個(gè)狹窄的空隙,不會(huì)沒(méi)進(jìn)行一次嘗試就要擔(dān)心掩膜被污染,只得關(guān)閉設(shè)備重新再來(lái)一次。

    負(fù)責(zé)帶著李筠學(xué)習(xí)的趙蔓,看著她那熟練的動(dòng)作,滿意地點(diǎn)點(diǎn)頭。

    終于送來(lái)的不是一個(gè)愣頭青,什么都不懂的人,要知道他們團(tuán)隊(duì)現(xiàn)在的任務(wù)非常重,時(shí)間緊迫,根本沒(méi)有人想要把自己的時(shí)間浪費(fèi)在無(wú)意義的人和事情上。

    她看著李筠有模有樣的動(dòng)作說(shuō):“看你的樣子也不是什么完全新手,你和于亮一起負(fù)責(zé)物鏡的調(diào)試,不斷找出最小比例的組合模式,有什么新變化記得全部記錄下來(lái)。我那邊還有其他的事情要忙,你們倆記得合作才能發(fā)揮最大的力量?!?/br>
    說(shuō)完,她也不等兩人回答,轉(zhuǎn)身離開(kāi)。

    于亮也是個(gè)只想要做事的性子,直接站到觀察位,冷冷地出聲道:

    “那么我先來(lái),李筠你負(fù)責(zé)記錄現(xiàn)在的物鏡調(diào)配情況,以及晶圓顯影比例?!?/br>
    “沒(méi)問(wèn)題?!?/br>
    李筠讓開(kāi)自己的位置,讓于亮先行,泛著這個(gè)物鏡的調(diào)配特別耗費(fèi)眼神和精力,等到于亮不行了,她迅速頂上就行,沒(méi)必要爭(zhēng)一時(shí)之快。

    拿出他們放在一旁的記錄冊(cè)子,拿著筆記錄下現(xiàn)在的情況。

    和他們一樣組合的人還有不少,每個(gè)人負(fù)責(zé)的物鏡大小、薄厚、份數(shù)都是不一樣的,只為找出最合適的搭配。

    之前因?yàn)槿耸值膯?wèn)題,都是于亮自己一個(gè)人單獨(dú)進(jìn)行。

    剛開(kāi)始于亮還有些擔(dān)心多了一個(gè)人會(huì)耽誤自己的進(jìn)度,可很快他就看出了李筠不是一般人,在他還沒(méi)有提醒的時(shí)候,就已經(jīng)手速飛快,把自己想要說(shuō)的數(shù)據(jù)記錄在冊(cè)。

    這種完美搭檔一起做事就是順心,短短幾個(gè)小時(shí),就已經(jīng)達(dá)成了他之前一天的工作量。

    于此同時(shí)到來(lái)的還有他雙眼發(fā)昏的暈厥感,他不甘心地揉了揉自己暈眩的雙眼,搖搖頭,不甘心地往下走。

    對(duì)著李筠說(shuō):“接下來(lái)你來(lái)觀察,我記錄?!?/br>
    “可以。”

    李筠將最后一筆記下,將冊(cè)子和筆交到于亮手里,自己則是登上觀察位,查看情況。

    依據(jù)自己剛剛的觀察,開(kāi)始調(diào)整物鏡內(nèi)部的透鏡位置。

    于亮看到這一幕剛想提醒些什么,但很快就收回自己的手,他根據(jù)剛剛對(duì)李筠的觀察,相信她不是無(wú)的放矢。

    很快,當(dāng)他看見(jiàn)新出來(lái)的數(shù)據(jù)之后,不由自主地瞪大雙眼。

    因?yàn)檠谀ぐ迮c光刻膠基底層之間的空隙,他們能夠避免掩膜的污染,制作時(shí)間大大縮短。

    但同時(shí)也帶來(lái)了另外一個(gè)隱患,那就是空隙的存在會(huì)使得原先的縮放比例大大變低,在晶圓上的成像會(huì)變得更加模糊。

    于亮相信只要是自己的眼神沒(méi)出問(wèn)題的話,眼前的這個(gè)縮放比例已經(jīng)達(dá)到了原先該有的水準(zhǔn)。

    不說(shuō)提高,就這樣的變化就足以讓其他人側(cè)目。

    他有些驚訝地觀察李筠的表情,在看到她還想要繼續(xù)調(diào)整的時(shí)候,趕緊出聲打斷:

    “等等!這樣就很好了,你先別動(dòng)?!?/br>
    由于太著急,他的音量不算下,其他聽(tīng)到動(dòng)靜的人也紛紛向著兩人的方向看過(guò)來(lái)。

    李筠轉(zhuǎn)身看到的就是這樣的畫面,她有些疑惑地看著于亮說(shuō):“怎么了?”

    “你現(xiàn)在這個(gè)角度剛剛好,先別動(dòng),我這里還要再記錄一點(diǎn)東西?!?/br>
    眾人一起停手的動(dòng)靜不算小,趙蔓也很快注意到兩人這邊的異樣,看著其他人停下手里的事情,路過(guò)的時(shí)候小聲提醒道:

    “你們先別停,我去看看情況?!?/br>
    眾人這才歇了看熱鬧的心思,繼續(xù)將眼神放到自己眼前,但也有些好事的,還是阻擋不了自己的好奇心,頻頻側(cè)頭觀察李筠那邊的動(dòng)靜。

    趙蔓到達(dá)時(shí),看到的就是一人站在觀察位不動(dòng),一人飛速記錄的場(chǎng)面。

    她的目光隨即轉(zhuǎn)移到李筠身上,疑惑地問(wèn):“你們這邊是出了什么問(wèn)題嗎?”

    李筠搖搖頭,眼神看向一旁的于亮。

    于亮沒(méi)有回答兩人的問(wèn)題,繼續(xù)在記錄冊(cè)上寫寫畫畫,好一會(huì)兒才停下自己的手,因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間高強(qiáng)度的使用,還情不自禁地甩甩自己的手腕。

    而后勾起嘴角,眼神當(dāng)中幾乎是藏不住的喜色,看著一旁的趙蔓激動(dòng)地說(shuō):

    “我們…我們已經(jīng)復(fù)原出原本物鏡應(yīng)該到達(dá)的指數(shù),趙師姐,你看?!?/br>
    說(shuō)著,就把自己手里的記錄冊(cè)遞到趙蔓手里。

    第一秒映入眼簾的就是于亮那手粗糙的畫技,把物鏡的角度畫得亂七八糟,她根本看不明白,果斷移開(kāi)視線,看向上面記錄的數(shù)據(jù)。

    當(dāng)她看到成像比例的時(shí)候,眼睛瞬間睜大,眼神驚喜地在李筠和于亮兩人身上來(lái)回移動(dòng)。

    忍不住夸贊出聲道:“你們倆非常了不起,這個(gè)發(fā)現(xiàn)我要趕緊告訴教授,你們倆這邊暫時(shí)別動(dòng),等會(huì)兒教授也要過(guò)來(lái)看。”

    說(shuō)罷,帶著手里得到記錄冊(cè)通通離開(kāi)。

    其他耳朵尖的,也明白是兩人這邊有了新發(fā)現(xiàn),趕緊放下自己手里的東西圍過(guò)來(lái)看,嘰嘰喳喳地指著物鏡的方向討論。

    等到趙蔓帶著趙本民教授來(lái)的時(shí)候,看到的就是這樣一副鬧哄哄的場(chǎng)面。

    她趕緊加大的音量喊道:“都讓讓!都讓讓!教授來(lái)了?!?/br>
    話音剛落,人群若鳥(niǎo)獸散,迅速給趙蔓和趙教授讓出一條路,此時(shí)的李筠也早已經(jīng)離開(kāi)了觀察位,與于亮站在一起。

    趙本民看著眼前的機(jī)器,側(cè)頭問(wèn)了趙蔓一句,眼神就不斷地在李筠和于亮身上游離。